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深圳奕帆科技固定式法蘭款雙氧水在線檢測儀，專為半導體、電子芯片制造晶圓清洗高純雙氧水工藝設計，采用潔凈級鏡面拋光 316L 不銹鋼 DN25 法蘭結構，法蘭鏡面處理，不會殘留晶圓清洗高純藥液、無雜質析出污染晶圓，適配半導體超純水系統、晶圓濕法蝕刻清洗管道、高純雙氧水調配罐體旁路安裝，法蘭密封采用高純 PFA 防腐墊片，耐受電子級高純雙氧水氧化腐蝕，杜絕普通橡膠墊片析出雜質污染半導體生產線，滿足半導體無塵車間高潔凈、無二次污染嚴苛要求。
設備搭載低干擾微量級電化學傳感器，針對半導體車間低濃度雙氧水微量揮發優化，標準量程 0-100ppm，分辨率 0.01ppm，可精準捕捉清洗管道微量雙氧水揮發泄漏，T90 響應時間≤5 秒，泄漏發生后快速預警，避免高純雙氧水腐蝕精密半導體設備、損傷操作人員皮膚呼吸道。
整機采用本安防爆 + 隔爆雙重防護，防爆等級 Ex d ia IIC T6 Gb，適配半導體潔凈防爆車間；機身 IP67 高防護，無塵車間循環風、高壓純水沖洗環境穩定運行；正面高清彩屏中文界面，可切換實時濃度數值、24 小時濃度曲線、設備溫濕度、傳感器剩余壽命提示，配套紅外遙控無接觸校準，無塵車間無需開門拆裝儀表，避免外界粉塵進入潔凈產線，大幅降低潔凈區運維污染風險。
信號輸出支持 4-20mA 模擬信號、RS485 Modbus、可選 4G 無線傳輸，可對接半導體產線 PLC、工廠智能中控平臺、潔凈區排風系統，兩路繼電器聯動潔凈區變頻排風風機，管道雙氧水微量泄漏濃度超標時，自動加大潔凈車間換氣風量，快速降低空氣中雙氧水殘留濃度，保障無塵車間人員作業安全。設備 24VDC 低功耗穩定供電，7×24 小時不間斷在線監測，內置存儲模塊自動存儲濃度、報警、校準數據，支持數據導出用于半導體產線工藝優化、潔凈區安全臺賬留存。
奕帆半導體晶圓清洗高純雙氧水監測儀廠家可根據半導體管道規格定制 DN15/DN20/DN40 潔凈法蘭，出廠附帶潔凈度檢測報告、防爆證書、計量校準證書，提供半導體無塵車間上門安裝、潔凈區專屬調試、季度上門標定、技術售后，專為半導體晶圓清洗高純雙氧水微量監測打造。
奕帆半導體晶圓清洗高純雙氧水監測儀廠家
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