深圳奕帆科技銀色固定式氦氣檢測儀，適配半導體芯片、晶圓刻蝕、封裝制造車間氦氣工藝環境監測，整機銀色一體化防爆鋁合金外殼，表面精密拉絲銀色工藝，抗半導體車間潔凈室化學腐蝕氣體侵蝕，防靜電涂層杜絕靜電擊穿車間精密芯片設備，防爆、防靜電雙重安全標準，可直接安裝于晶圓工藝管道、氦氣供氣柜周邊。
半導體制造工藝大量使用高純氦氣作為保護氣、載氣，管道接頭、閥門微量泄漏不僅造成氦氣原料損耗，高濃度氦氣還會造成車間作業人員缺氧，本設備搭載進口熱導氦氣傳感器，0-100% VOL 寬量程可選，0.01% VOL 超高分辨率，可精準檢測管道微量氦氣滲漏，實時監控工藝腔內氦氣純度，保障芯片生產工藝穩定，設備內置全量程溫度自動補償電路，車間潔凈室恒溫波動、潔凈水霧環境下，長期測量數值穩定無漂移，重復性誤差≤±1%，滿足半導體行業高精度監測需求。
機身 2.5 英寸高清彩屏，支持實時數值、濃度曲線雙模式顯示，中英文操作界面，適配外資、國產半導體工廠運維人員使用，PPM、% VOL 單位自由切換，屏幕同步顯示設備運行時長、傳感器剩余使用壽命、下次校準時間。標配 4-20mA 模擬量、RS485 Modbus 數字信號雙輸出，監測數據直接對接半導體車間工控 PLC、MES 生產管理系統，實現工藝氦氣濃度數據實時上傳工廠中控大屏，管理人員遠程實時查看各工位氦氣監測數據。
奕帆半導體晶圓制造車間氦氣檢測儀廠家設備內置 2 路無源繼電器輸出，可聯動車間工藝氦氣輸送電磁閥、潔凈室新風系統，低濃度泄漏僅本地聲光預警，高濃度氦氣超標自動切斷氦氣供氣管道、開啟新風系統置換空氣，雙重安全防護避免生產安全事故與原材料浪費。整機 IP66 高防護等級，前置可拆卸粉塵、水汽過濾器，阻隔潔凈室細微硅粉、水霧進入傳感腔體，有效延長傳感器使用壽命；插拔式智能傳感模塊，出廠預標定，現場直接更換無需二次校準，降低半導體工廠設備維護成本。設備自帶故障自檢、斷線報警、數據恢復功能，內置黑匣子存儲 10 萬條監測日志，滿足半導體工廠環保、安全生產臺賬記錄要求。
奕帆半導體晶圓制造車間氦氣檢測儀廠家
