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深圳奕帆科技手提式氦氣檢測儀半導體專用版,面向半導體晶圓車間、芯片封裝廠、真空鍍膜生產線、氦氣回收系統氣密性檢測研發,適配無塵潔凈車間嚴苛使用環境,精準檢測真空腔體、管路接頭、氦氣回收設備微量氦氣泄漏,同時檢測高純氦氣供氣純度,保障半導體生產線穩定運行,避免氦氣泄漏、純度不達標造成芯片生產報廢損失。設備搭載專用潔凈型熱傳導傳感器,經過無塵車間工況專項調試,無粉塵殘留、無氣體吸附殘留,不會污染半導體潔凈車間環境;檢測量程 0-100% VOL 全覆蓋,分辨率 0.01% VOL,響應速度快,真空腔體微小氦氣泄漏可瞬間捕捉,數值重復性誤差≤±1%,長期連續檢測數值無漂移,適配半導體車間全天候巡檢作業。
整機采用無塵防靜電 ABS 外殼,表面防靜電涂層處理,不會產生靜電擊穿精密芯片設備,機身無縫隙、易擦拭清潔,符合無塵車間潔凈度使用標準;輕量化機身僅 430g,搭配可拆卸掛繩、工裝夾扣,操作人員手持、胸前懸掛均可,長時間巡檢無負重壓力;簡化式操作按鍵,一鍵開啟采樣泵、一鍵保存檢測數據、一鍵切換純度 / 檢漏模式,無需專業技術人員即可快速完成檢測工作。采樣氣路全部采用食品級、潔凈級 PTFE 管路,無油污、無雜質析出,不會污染半導體真空設備;標配可伸縮潔凈金屬采樣探桿,可伸入狹小真空腔體縫隙檢測,探桿可拆卸酒精擦拭消毒,滿足無塵車間清潔規范;氣路集成微型干燥過濾芯,過濾空氣中水汽,防止水汽進入真空管路造成設備故障。
數據管理與合規功能,內置 10 萬組大容量數據存儲,自動記錄檢測時間、氦氣濃度、車間溫濕度、檢測點位,每條記錄留存,支持 USB 導出檢測報表,報表格式符合半導體工廠質檢、設備運維臺賬標準;可選配藍牙無線傳輸功能,檢測數據實時同步至車間中控電腦,管理人員遠程查看各產線氦氣檢測數據。安全防護方面,設備具備防靜電、防塵 IP65 防護等級,可適應無塵車間恒溫恒濕環境;大容量低噪鋰電池,無靜電放電隱患,單次滿電持續工作 13 小時,滿足全天多條半導體產線巡回檢測;配套無塵專用無紡布收納袋,存放儀器避免灰塵附著。
奕帆半導體電子行業高純氦氣報警器廠家支持半導體企業定制多氣體復合檢測、無線云端數據監控、現場拍照取證功能,提供無塵車間使用專項技術培訓,整機質保一年,終身提供傳感器校準、更換維護服務。
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