











深圳奕帆科技固定式紅色款氖氣檢測儀,專為半導體晶圓潔凈廠房稀有氣體泄漏監測打造,整機采用醒目紅色防爆殼體,車間復雜工況下辨識度拉滿,是光刻車間氖氣供氣管道、鋼瓶存放區安全監測設備。氖氣屬于惰性稀有氣體,傳統氣體傳感器難以精準捕捉微量泄漏,本設備搭載進口 VUV 真空紫外光電離專用氖氣傳感器,檢出限低至 0.1ppm,SEMI S2 半導體行業稀有氣體監測標準,全量程檢測誤差≤±1% FS,搭配自研溫濕度自動補償算法,潔凈車間恒溫恒濕環境下長期運行數據零漂移。
設備外殼為鑄鋁防爆材質,紅色氟碳防腐涂層,IP66 防塵防水防護等級,防爆認證 ExdⅡCT6,可直接部署于防爆潔凈區域,不會干擾車間無塵環境。機身搭載 2.5 英寸高清液晶顯示屏,實時數字顯示現場氖氣濃度,支持 PPM、% VOL 多單位自由切換;機身側邊集成一體式紅色聲光報警燈,與紅色機身融為一體,濃度超標瞬間發出 85dB 高分貝蜂鳴 + 高頻紅光爆閃,遠距離即可察覺泄漏風險,雙重預警杜絕安全事故。
安裝方式支持壁掛式、管道法蘭式兩種,適配潔凈車間吊頂管道、鋼瓶柜體安裝,模塊化傳感器熱插拔設計,更換傳感器無需整機斷電停機,30 秒快速完成替換,不耽誤半導體車間 24 小時連續生產作業。信號輸出包含標準 4-20mA 三線制模擬信號 + RS485 Modbus 數字信號,可無縫對接車間 DCS 工控系統、PLC 控制柜,實現監測數據遠程上傳;額外搭載兩路無源繼電器開關量輸出,超標時可自動聯動車間排風機、氣體切斷閥,實現泄漏自動處置。
整機適配 - 20℃~60℃寬溫工作環境,0-95% RH 無凝露濕度工況,內置故障自檢程序,傳感器失效、線路斷路、供電異常均會主動故障報警,同時記錄設備運行日志、超標報警記錄,存儲上萬條歷史數據,支持本地查詢與云端導出。奕帆半導體潔凈車間氖氣探測器廠家,整機提供 3 年整機質保,傳感器 1 年免費換新,可根據半導體車間需求定制專屬量程、物聯網無線傳輸模塊,全國上門安裝調試指導,適配各大晶圓廠、芯片封裝廠、光刻車間常態化氖氣安全監測需求。
奕帆半導體潔凈車間氖氣探測器廠家